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兵庫県教育委員会

記者発表

兵庫県立大学

材料・デバイスナノ構造の高速X 線イメージング技術を開発

 1 発表内容要旨(詳細は別添資料のとおり)
【研究成果のポイント】
・フレームレート10fps以上の高速レンズレス・ナノイメージングを、像再生アルゴリズムと高干渉性(コヒーレント)X線光学系の新規開発により実現
・X線の高い透過性により、電子顕微鏡では困難な厚い試料を大気圧下で観察
・材料やデバイスの機能メカニズムや劣化過程の解明への応用を目指す

【概要】
 兵庫県立大学大学院物質理学研究科の高山裕貴助教(公益財団法人ひょうご科学技術協会放射光研究センター 客員研究員)らの研究グループは、大型放射光施設SPring-8の高干渉性(コヒーレント)X線を利用した、ナノスケールの空間分解能とフレームレート10fps以上の高速測定の両立を可能とする新規レンズレス・ナノイメージング技術を開発しました。像形成にレンズを用いない為、X線光学素子の加工限界を超える高い空間分解能と明瞭なコントラストを実現でき、X線の高い透過性により、電子顕微鏡では観察できない厚い試料の内部を大気圧下等の自然な環境で非侵襲観察することが可能です。微細構造化が進む材料やデバイスの機能状態・動作中構造評価に本技術を応用することで、高性能化に重要な機能メカニズムや劣化過程の解明に貢献できると期待されます。
 本研究は、英国の科学雑誌『Communications Physics』に3月11日午前10時(現地時間)にオンライン掲載されます。

詳細は別添資料をご覧ください。